在半導體無塵室這座極度講究「零污染」的殿堂,看不見的氣態微汙染物(即AMC,Airborne Molecular Contamination)恐導致製程上的失誤。化學濾網雖是把關良率的隱形門神,但過去「用完即丟」的舊思維,卻讓關鍵耗材成了晶圓廠難以擺脫的碳排包袱。如今,鈺祥企業位於台南柳營的兩座化學濾網再生中心結合AI與工業物聯網的智慧再生製造系統,徹底顛覆了遊戲規則,將原本該報廢的廢棄濾網,煉成了科技巨頭眼中的「戰略性綠金」,一舉躍升為半導體供應鏈不可或缺的永續夥伴。
圖:鈺祥企業位於台南柳營的兩座化學濾網再生中心結合AI與工業物聯網的智慧再生製造系統,徹底顛覆了遊戲規則。
半導體製程向先進節點推進,極致良率的關鍵,往往隱藏在無塵室那道看不見的氣流中。負責過濾微污染的化學濾網,正是先進製程中不可或缺的防線。
鈺祥企業再生製造部經理黃彥凱指出,晶圓廠最忌諱「AMC」,這些肉眼難以察覺的酸、鹼或有機氣體,一旦控制不當,便會直接侵蝕良率甚至危及製程安全。因此,化學濾網不僅是維繫潔淨度的關鍵,更是這場產線「隱形戰爭」的核心武器。
圖: 鈺祥企業再生製造部經理 黃彥凱
然而,長期以來化學濾網多被視為一次性耗材,造成高昂成本與龐大碳足跡,成為企業追求低碳轉型的障礙。此外,過度依賴新品供應,更讓供應鏈韌性埋下隱憂,一旦全球突發缺料或物流受阻,耗材供應鏈的斷鏈風險,將直接威脅晶圓廠的生產節奏。面對良率、ESG指標與供應鏈穩定的三重壓力,如何將廢棄濾網轉化為強化製程韌性的戰略資產,已成為半導體供應鏈的關鍵賽局。
在這場競賽中,鈺祥企業作為台灣首家大規模投入再生濾網的本土廠商,打破了過往由外商主導的市場盤勢,透過在地化佈局,在動盪的地緣政治環境下,大幅提升台灣半導體產業的供應鏈韌性。
「我們希望把濾網從消耗品,變成半導體供應鏈中可循環、可追溯、可驗證的關鍵資源」黃彥凱一語道破再生中心的經營核心。鈺祥企業再生中心絕非資源回收站,而是半導體供應鏈中至關重要的循環製造節點,透過鈺祥獨家的烘烤再生技術與嚴謹驗證,讓使用後的濾網有機會恢復效能,繼續守護無塵室的潔淨。
這項製程革新不僅展現了鈺祥企業的技術實力,更帶來具體的循環效益,目前再生型濾網已能重複使用10次,成功減少90%以上的廢棄物產生,降低環境衝擊。展望未來,鈺祥企業將導入半導體產業,成為企業全新的成長引擎。同時著眼於更長遠的價值,鈺祥企業更規劃賦予再生濾網「第二生命」,將高階製程汰換但仍具餘裕效能的濾網,轉供潔淨度要求較低的傳統產業使用,落實資源效率最大化,確立其作為綠色供應鏈支柱的地位。
半導體客戶對製程品質要求極度嚴苛,再生型濾網的驗收標準不僅止於外觀清潔,更須確認其效能已完全「恢復」至可使用、可交付、可追溯的嚴格規格。為此,鈺祥企業建立了一套嚴謹的標準化再生製造流程,確保整個作業環節有紀錄、有標準、有驗證。
濾網入廠後,首道關卡是回收與分級,會依據客戶使用場域、濾網型式與污染物特性進行篩選,嚴格防堵高風險物件。隨後進入再生前檢測,針對壓損、結構與吸附量等性能建立再生前基準,並作為後續製程參數選擇與再生效果比對的重要依據。
邁入烘烤再生階段,溫度、持溫時間與氣流條件均由系統嚴密監控,以標準化數據取代人工經驗,確保製程穩定。接著運用AI整合檢測資料與機台參數,深入剖析污染物變異或設備異常因子,精準掌握品質波動趨勢。最終,再生型濾網均須通過嚴格檢驗,確認壓損、外觀、結構與關鍵性能皆符合交付要求,出貨時並完整保留檢測紀錄與再生履歷,確保產品質量完全透明且可追溯。
「半導體客戶最重視的是良率與穩定性,所以我們做再生不是只做環保,而是用半導體等級的品質邏輯做循環經濟」黃彥凱強調。鈺祥企業透過這套數據化機制,成功以數據說話,讓原本被視為垃圾的耗材,轉化為具備低碳價值的關鍵資產,並贏得半導體大廠的堅實信任。
推動濾網再生的最大挑戰,在於每批回收品的背景皆不盡相同,污染物與使用環境的差異,使再生製程無法套用單一固定參數,也不能只靠經驗判斷。尤其當產能擴增且規格走向複雜化,傳統依賴資深人員經驗的模式,難以維持品質一致性。
為此,鈺祥企業將AI與數據治理納入核心營運策略,致力將現場經驗數據化以精準掌握品質關鍵因子,使現場管理從人工巡檢與事後處理,轉向即時掌握、提前預警與數據決策。黃彥凱指出:「AI的價值不在於取代人力,而是將老師傅的經驗轉化為可複製的數據邏輯,藉此提升製程穩定度並強化決策時效。」
鈺祥透過工業物聯網(IIoT)建立設備與製程數據底座,即時整合設備參數、檢測數據、異常紀錄與人員操作紀錄,並結合IoT即時監控將產線進度及運作狀態透明化,成功將管理視角逐步從「事後追查」推向「事前預防」。
在設備維護上,運用AI模型分析設備運轉數據建構風險預警模型,將傳統的固定週期保養,升級為精準的「預測性維護」,有效降低非預期停機風險。同時藉由數據化排程及產能管理,優化設備調度及流程調整,並整合能耗與環境感測數據,進行能源與安全管理,精準鎖定節能熱點及防範高溫作業風險。
對於AI導入成果,黃彥凱總結道:「智慧製造最大的價值,是讓管理從看見問題,進一步變成預測問題、避免問題」,正是這一套全方位的智慧化賦能,讓鈺祥企業的再生中心全面升級為具備預測與防範能力的智慧工廠。
圖: 鈺祥企業再生製造部經理 黃彥凱
再生製造高度仰賴技術積累,若關鍵知識僅鎖定在資深人員腦中,將成為企業極脆弱的軟肋。面對人員流動與產能持續擴張,這種「人治」的技術傳承極易導致斷層。
為解決此盲點,鈺祥建置了RAG智慧工廠知識庫,將標準作業程序、設備手冊、品保規範及歷史異常案例全面結構化,將「口耳相傳」的職人智慧,轉化為公司的數位資產。不僅大幅縮短新進人員的學習曲線,更讓技術團隊能從歷史紀錄中歸納處置模式,有效防範同類問題重複發生。
對跨部門協作而言,RAG知識庫更是消弭資訊落差的利器。無論是業務、客服、研發、品保或製造單位,在面對客戶需求時,皆能查閱一致的技術依據與處理紀錄,確保對外回應精準且迅速。
黃彥凱強調:「我們要把人的經驗變成公司的能力,把一次的問題解決,變成預防下次問題的知識。」透過不斷累積的知識體系,鈺祥企業形成了一個持續反饋與改善的PDCA(規劃-執行-查核-行動)循環,讓AI輔助管理層精準鎖定改善方向,進而築起一道競爭對手難以跨越的護城河。
面對半導體大廠日益嚴苛的低碳要求,鈺祥企業再生中心戰略藍圖將從再生服務,進一步發展成完整的智慧製造與永續供應鏈服務。希望透過可追溯、可驗證、可持續改善的智慧製造體系,讓循環經濟不只是理念,而是能被半導體產業採用與信任的製造服務。
這套系統串聯了使用、回收、再生、驗證、出貨到履歷追蹤的閉環管理能力,不僅協助半導體產業落實ESG目標,更透過短鏈供應模式,建立起難以取代的供應鏈彈性。當濾網生命週期與碳排數據完整串聯,永續績效便成為可量化的營運數據。
「循環經濟要被半導體產業採用,關鍵不是口號,而是要有品質、數據與可驗證的製造能力」黃彥凱為這場綠色供應鏈變革下出最精準的註解。藉由卓越的技術積累及嚴謹的數據治理,鈺祥企業已成功將綠色製程嵌入先進供應鏈,確立其在全球半導體低碳製造領域的戰略夥伴地位。
半導體年度盛事 SEMICON Taiwan 2026 即將於 9 月 2 日(三)至 9 月 4 日(五)在台北南港展覽館隆重登場。
身為微污染控制技術的領航者,鈺祥企業(股票代號:7909)今年將以 「 Purity:極致純淨・流向無限未來 」 為主題參展。
現場將首度展示結合綠色碳中和創新技術、高效能化學濾網,以及專為半導體先進製程打造的氣液整合解決方案,協助產業邁向淨零碳排的永續未來。
我們誠摯邀請您蒞臨鈺祥企業攤位參訪。此外,我們也將於 9 月 4 日(五)上午 舉辦創新技術發表會,期待能與您分享最新的綠色製程趨勢。
📌 展覽與發表會資訊
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